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日本長(zhǎng)野圧力計(jì)GW28-S04
日本長(zhǎng)野圧力計(jì)GW28-S04
日本長(zhǎng)野圧力計(jì)GW28-S04
GW28半導(dǎo)體産業(yè)用圧力計(jì)
半導(dǎo)體集積化プロセス向け
半導(dǎo)體高純度ガス、及び腐食性ガスの雰囲気等の條件下でも優(yōu)れた性能を発揮します。
気密性?洗浄度に対しても充分考慮して製作されており、半導(dǎo)體プロセス等、特に高純度流體向けに適した圧力計(jì)です。
認(rèn)証規(guī)格： 
特長(zhǎng)
?φ28サイズの小徑タイプのため、集積化マウントの省スペース化に貢獻(xiàn)できます。
?接ガス部は、従來(lái)のＣ形ブルドン管に比べ、単純なダイアフラム式であるため、洗浄やガスフラッシングが容易に
出來(lái)る構(gòu)造です?！?br style="background-repeat: no-repeat;"/>?従來(lái)品（小型ブルドン管式）に対して接ガス部?jī)?nèi)容積は、約1/2となりガスが滯留するデッドスペース（接ガス部
內(nèi)容積）が大幅に低減されています。
＊圧力計(jì)を選定される際は、性能を十分発揮できるよう、常用圧力の上限が以下の範(fàn)囲となるように圧力レンジを
選定してください。
定圧力の場(chǎng)合：圧力レンジの*大値の3/4以下
変動(dòng)圧力の場(chǎng)合：圧力レンジの*大値の2/3以下
また記載の接ガス部材質(zhì)が測(cè)定流體に適合したものであることをご確認(rèn)ください。
詳しくは、JIS B 7505-1をご覧ください。
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