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日本ULVAC愛發(fā)科離子源Qulee CGM-IS01
日本ULVAC愛發(fā)科離子源Qulee CGM-IS01
日本ULVAC愛發(fā)科氣體分析儀CGM-051/CGM-052
高壓工藝（濺射工藝）
Qulee CGM2 系列
CGM2-051
ULVAC
ULVAC的新型工藝氣體分析儀/工藝氣體監(jiān)控器(RGA)，同時實現(xiàn)了高壓下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的簡單易操作性。
它是響應(yīng)各種生產(chǎn)線設(shè)備技術(shù)的要求而出現(xiàn)的工藝監(jiān)控器的新標(biāo)準(zhǔn)。 *適合濺射設(shè)備的工藝管理（提高品質(zhì)、提高良率）。
顯示部分一體化設(shè)計???無需電腦也可進行測量 操作簡單 - One Click機能???對每個人來說都很容易，不需要復(fù)雜的操作 過程監(jiān)控不需要差動排氣系統(tǒng)???可測量1Pa以下、更節(jié)省空間 增強檢漏功能 可以測量總壓力 標(biāo)準(zhǔn)搭載Qulee QCS軟件 符合CE特點
濺射設(shè)備的殘留氣體分析、工藝監(jiān)測、雜質(zhì)管理 (H2O) 各種真空設(shè)備的檢漏用途
M/△M=1M(10% P.H.)規(guī)格
分解能
型號 CGM-051 CGM-052 質(zhì)量分離方式 四極型質(zhì)量分析儀 質(zhì)量數(shù)范圍 1～50 amu 檢出器 法拉第杯 二級電子倍增管／
法拉第杯感度 0.1uA/Pa 0.1mA/Pa *小檢知分圧 1x10-7Pa 1x10-10Pa *大使用圧力 2Pa 2Pa(FC)
1x10-2Pa(SEM)線性 1Pa 全壓力測量功能 有 一鍵檢漏功能 有/He/H2O/N2/O2/Any gas 電源電壓 DC24V±10％ 50W *大烘烤
可能溫度
(傳感器單元連接時)120℃ *大烘烤
可能溫度
(傳感器單元移除時)250℃ 使用溫度范圍 10～40℃ 接口 Ethernet 軟件 Qulee QCS Ver.4.0以降（Windows XP/7適用） 符合標(biāo)準(zhǔn) CE
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